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离子束溅射系统

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YCL-50-A磁控与离子束联合系统

YCL-50-A磁控与离子束联合系统

  • 详细介绍

YCL-50-A磁控与离子束联合系统

YCL-50-A磁控与离子束联合系统

◆设备用途

用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的制备。可广泛应用于半导体、微电子及新材料领域。

◆设备组成

系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热公转台、Kaufman离子枪、四工位转靶、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。

◆技术指标

极限真空度:≤6.67×10-5 Pa (经烘烤除气后);

系统真空检漏漏率:≤5.0×10-7 Pa.l/S;停机12小时≤5Pa.

系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,45分钟可达到6.67×10-4Pa;

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成。

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