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磁控溅射镀膜仪设备镀膜特征

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磁控溅射镀膜仪设备镀膜特征

发布日期:2019-05-13 作者: 点击:

磁控溅射镀膜仪设备作为目前的的表面处理设备,其作用是非常大的,不仅使用范围广泛,在使用上还能够给人们带来便利。

磁控溅射镀膜仪具有以下显著特征:

1.成膜厚度工艺参数精准可控。通过调整炉内气压、溅射功率、衬底温度、磁场以及电场参数等,可方便地对镀层沉积速度和厚度进行精准控制,误差小,一致性好;

2.膜层灵活多样,基材适应性广。磁控溅射镀膜可生成纯金属或配比精准、恒定的合金镀膜,能满足薄膜的多样性以及高精度要求,并且基材为金属或非金属均可,灵活性好。

磁控溅射镀膜仪相对湿法镀膜的优势在于,针对分子结构复杂的高分子材料的表面镀膜,即使有不同表面镀覆材料要求,也无需更换生产线,只需调整不同的工艺参数,更换相应的靶材,便能快速便捷地实现针对不同基材材料的不同镀层的涂覆;相对于热喷涂等工艺,磁控溅射镀膜的镀层表面质量更好、精度高,因此适合精度要求高的电子产品的表面金属化。笔者采用磁控溅射镀膜方法对PPS,PEEK样件表面进行金属化镀膜,期待解决某些电子装备产品中PPS,PEEK 高分子轻量化材料应用中的表面金属化需求。

磁控溅射镀膜仪

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