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使用磁控溅射镀膜仪设备对环境有什么要求吗?

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使用磁控溅射镀膜仪设备对环境有什么要求吗?

发布日期:2019-05-13 作者: 点击:

由于要在特定条件下,因此磁控溅射镀膜仪设备要满足真空对环境的要求。制定的各种磁控溅射镀膜仪的行业标准(包括磁控溅射镀膜设备通用技术条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备)都对环境要求作了明确规定。只有满足了真空电镀机对环境的要求,能使该设备正常运转,加上正确的镀膜工艺,方能生产出合格的镀膜产品。

磁控溅射镀膜行业发展优势

磁控溅射镀膜对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。众所周知,油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体,当大量抽除可凝性气体时,对泵油的污染会更加严重,结果使泵的极限真空下降,破坏了泵的抽气性能。口巨业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区分的。粉状体是粉末或固体颗粒的集合或分散状态的物质。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合,而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。烟雾体是以固体或液体的微小颗粒呈浮状态存在于气体中的物质体系。物质无论是固体还是液体,凡是呈颗粒状态均可统称为尘粒。以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准,从而定制出洁净室的等级。不仅适合于有洁净要求的口巨业部门,也适合于真空对洁净环境的要求。

磁控溅射镀膜的正常条件是:

1.环境温度10一30℃

2.相对湿度不大于7a%a

3.冷却水进水温度不高于25℃

4.冷却水质城市自来水或质量相当的水

5.供电电压380V,三相50Hz或220V,单相50Hz(由所用电器需要而定),电压波动范围342-399V或198-231V,频率波动范围49-51Hz

6.设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。

7.设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。

此外,磁控溅射镀膜所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵时排出的气体对实验室环境的污染,可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外。

磁控溅射镀膜仪

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